半導體行業一定要用超純水設備?有什么優勢嗎?
芯片制造對水質的要求是十分苛刻的,對于大眾來說,平時接觸的自來水(飲用水)的渾濁度小于1NTU(根據現行《生活飲用水衛生標準》GB5749-2022)。這樣的自來水在肉眼看來,就已經非常干凈了。但是,這在電子行業,尤其是芯片制造領域,還差得很遠很遠。在芯片生產過程看來,自來水里面雜質多到什么程度?就好比是一鍋粥!所以,芯片行業需要對生產用水進行苛刻的純化處理。
第一層次——去離子水:采用物理、化學方法,去除溶于水中的電解質,獲得電阻率在0.1~10MΩ·cm的水(真正純凈的水可被視為絕緣體,生活中的水導電,是因為其中有雜質)。這個過程去除了水中的電解質,但溶于水中的非電解質(如有機物、微生物、顆粒物、溶解性氣體等)大部分未被去除。
第二層次——純水:采用物理、化學方法,去除了水中的幾乎全部電解質與非電解質,且水中陽離子和陰離子、有機物、顆粒物、微生物等含量受到一定控制。此時,純水的電阻率在10~18.2MΩ·cm(25℃),可以被視其為絕緣體了。
第三層次——超純水:如果將水中陽離子、陰離子、有機物、顆粒物、微生物都進行嚴格控制,這還不算完,再對水中溶解氣體進行嚴格控制,此時水的電阻率達到18.2MΩ·cm(25℃)以上(接近理論值18.25MΩ·cm,25℃時)。
超純水設備結合膜分離技術,利用反滲透結合EDI裝置制備超純水,出水電阻率可達18.2MΩ.cm(25℃),滿足半導體生產用水的需求。同時,設備還配備了反滲透預脫鹽技術,以確保設備的出水水質。同時,EDI處理裝置產生的廢水較少,不會污染環境,具有較高的環境效益和經濟效益,具有廣闊的發展前景。