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電子級超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

電子級超純水設備的工藝流程：

　　原水箱→增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水器→一級RO主機→一級純水箱→二級RO主機→二級純水箱→增壓泵→紫外線殺菌器→膜濾器→EDI系統→TOC脫除器+脫氣膜+拋光混床→終端膜濾器

　　1、原水箱

　　原水箱主要起到緩沖和調節進水量的作用，防止進水水量和水壓不穩定對設備造成的損壞和影響。

　　2、原水泵

　　原水泵從原水箱取水，對水箱內的水增壓，達到后續設備的運行的壓力和水量的要求。

　　3、石英砂過濾器

　　石英砂過濾器中通過裝填不同粒徑的高純度的石英砂對原水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質進行過濾，同時對原水中的濁度起到降低作用。

　　4、活性炭過濾器

　　活性炭過濾器系統是利用活性炭吸附機理，引起吸附的主要原因在于溶質對水的疏水特性和溶質對固體顆粒的高度親和力?；钚蕴窟^濾器能夠吸附水中的有機物，膠體和余氯等。去除各種溶解性的有機物。還能去除水中的臭味、色度、以及殘留的濁度。

　　5、保安過濾器

　　在RO裝置之前設置保安過濾器，目的是防止水中的大顆粒物進入反滲透膜，損壞反滲透膜，確保RO的正常運行。

　　6、立式高壓泵

　　反滲透的使用過程中，水的流向和運動是逆自然滲透的，要改變這種逆自然的滲透，必須給液體一個動力，使它改變自然滲透過程中，淡水向濃水方向運動，鹽份向淡水方向滲透的規律，而提高這個動力有效的措施是增加外界壓力，高壓泵為反滲透膜組提供足夠的進水壓力，維持反滲透膜的正常運行。