電子行業用超純水設備的原因是什么?
超純水是為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水,其電阻率大于18 MΩ.cm,或接近18.3MΩ.cm(25℃),那么關于電子行業超純水你又知道哪些呢?下面我們一起看看吧!
電子行業用超純水設備的原因是什么如下:
一、超純水在以電路板為主的電子元器件生產中的作用越來越重要,超純水的質量已成為影響電路板、電子元器件產品質量、生產產量和生產成本的重要因素之一,在電子元器件的生產中,超純水主要用于清洗水和用于配制各種溶液、漿液,不同的電子元器件在生產中對純水和水質的要求是不同的;
二、在晶體管和集成電路的生產中,超純水主要用于清洗硅片,少量用于制備藥液、硅氧化的水蒸氣源、一些設備的冷卻水、制備電鍍液等,集成電路生產中80%的工序都需要用高純水來清洗硅片,水質的好壞與集成電路產品的質量和生產量有很大關系;
三、水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜產生耐壓,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結電壓降低,III族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導體特性變差,V族元素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性變差;
四、會使P型半導體特性變壞,水中的細菌經過高溫碳化后的磷(約占灰分的20-50%)會使P型硅片的局部區域變成N型硅而導致器件性能變壞,水中的微粒(包括細菌)如吸附在硅片表面,就會造成電路短路或特性變差;
五、電子超純水設備是為了保證電子產品的質量安全,促進電子行業的健康運行,電子超純水設備用于集成電路生產中高純水清洗硅片、半導體材料、晶圓材料的生產、加工。